電容位移傳感器實際應用時，常常僅改變?nèi)齾?shù)之一以使其變化。所以電容位移傳感器可分為三種基本類型：變極距(變間隙)型、變面積型和變介電常數(shù)型稱重傳感器。
　　電容位移傳感器的三種基本結構形式。它們又可按位移的形式分為線位移和角位移兩種每一種又依據(jù)傳感器權板形狀分成平板和圓形或圓柱(圓筒)形，雖然還有球面形和鋸齒形等其他的形狀、但一般很少用。其中差動式傳感器一般優(yōu)于單組(單邊)式傳感器。它靈敏度高、線性范圍寬、穩(wěn)定性高。
　　1、變極距式電容位移傳感器
　　變極距式電容位移傳感器用一個固定極扳和一個可動極板構成：可動極板由被測金屬平面充當。當電容位移傳感器極板間距因被測量變化而變化時，電容變化量為極距是時的初始電容量。極板間距的變化不是線性關系說明該類型電容位移傳感器存在著原理性非線性誤差，即量程遠小于兩極板問的初始距離)時，可以認為么是線性關系，因此，這種類型的傳感器一般用來測量微小的位移變化量。
　　2、變面積型電容位移傳感器
　　變面積型電容位移傳感器中，平板形結構對圾距變化特別敏感，測量精度受到影響，而圓柱形結構受權板徑向變化的影響很小v成為實際應用中常來只結構，其干線位移單組式的電容量在忽略邊緣效應時為電容傳感器的電容變化與線位移成正比。
　　3、變介電常數(shù)型電容位移傳感器
　　變介電常數(shù)(c)型電容位移傳感器大多用來測量電介質(zhì)的厚度、液位、還可根據(jù)極間介質(zhì)的介電常數(shù)隨溫度、濕度改變而改變來測量介質(zhì)材料的溫度、濕度等。若忽略邊緣故應，單組式平板形線位移傳感器的電容量與介質(zhì)線位移的關系為固定極板的長度和寬度及被測物進入兩極板間的長度。